Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/4008

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Title:	摻鋁氧化鋅薄膜異質結構光檢測器的製作
Authors:	楊筑鈞陳孟傑邱啓福許智豪
Contributors:	電子工程系
Keywords:	氧化鋅鋁薄膜光檢測器
Date:	2013-12
Issue Date:	2014-07-15T06:03:09Z
Abstract:	本專題製作的內容是探討摻鋁氧化鋅薄膜退火效應對其應用於異質結構光檢測器特性的影響。本研究首先利用溶膠凝膠法在p-type矽基板上旋鍍摻鋁氧化鋅薄膜，固定六層厚度，再分別以400、500、600及700℃做退火處理。接著使用X光繞射(XRD)觀察晶體結構及電子顯微鏡(SEM)觀察表面型態，分析不同的退火溫度對薄膜微結構的影響，使用螢光光譜(PL)檢測薄膜的導電特質以及使用UV/VIS/NIR光譜儀檢測薄膜的透光率以推算出能隙值，最後再使用電流電壓(I-V)特性量測系統量測紫外光感測的亮暗電流比，以探討異質結構光檢測器的特性。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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