Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/5010

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Title:	不同成長基板對BiFeO3薄膜之相關特性研究
Authors:	洪宇興;陳敬之;洪敬傑;王藝蒙
Contributors:	修平科技大學電子工程系
Keywords:	BFO薄膜
Date:	2015-12
Issue Date:	2016-05-14T08:15:21Z
Abstract:	"本專題以溶膠凝膠法製備BiFeO3 (BFO)多鐵性薄膜，透過旋轉塗佈法將薄膜分別沉積在不鏽鋼基板(stainless steel)和FTO/glass基板上，並利用紅外線快速升溫爐(Rapid Thermal Annealing，RTA)進行退火處理。在本研究中將會探討兩種基板上所成長的BFO薄膜的微結構、鐵電性、介電性及漏電流等特性，並相互比較其優劣。本實驗中藉由XRD量測證實了BFO薄膜成功的生長在兩種基板上，經由後續的鐵電、介電、漏電流之量測，發現BFO成長在不鏽鋼基板的各種特性均優於成長在FTO/glass上，其中漏電流部分成長在不鏽鋼基板上比成長在FTO/glass的漏電流小100倍，這對不鏽鋼基板來說是一個非常大的優勢，而在鐵電量測部分，成長在不鏽鋼基板所量測出來的Ec=8.33 (kv/cm)， Pr=80 (μc/cm2)也優於成長在FTO/glass 上，以上量測證實了純相BFO薄膜成長在不鏽鋼基板上比成長在 FTO/glass上來的佳。"
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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