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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/3627
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| Title: | 捲揚式鍍膜設備之製程品質線上即時檢測系統 |
| Authors: | 許耿禎 |
| Contributors: | 修平技術學院 |
| Date: | 2012-06-21
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| Issue Date: | 2013-08-26T06:35:06Z
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| Abstract: | 一種捲揚式鍍膜設備之製程品質線上及時檢測系統，該捲揚式鍍膜設備係來濺鍍一軟性基板，並包含一腔體、一送料區、一中間清潔轉換區、一鍍膜沉積區、一鍍膜表面品質線上自動化檢測區、一捲料區級一製程參數控制區，其中，該送料區、該中間清潔轉換區、該鍍膜沉積區、該鍍膜表面品質線上自動化檢驗區、該捲料區及該製程參數控制區、係均位在該腔體內，該製程參數控制區內具有一設備製程參數調變裝置；一線上鍍膜品質特性及時量測裝置，係用以量測並搜級光學性及電氣性的各項肚膜品質參考促值，該線上鍍膜品質特性及時量測裝置
係利用非接觸及非破壞式光學性或電氣性量測方件；以及一產品品質自動回饋控制裝置，係將各項鍍膜品質參數值輸入，併一鍍膜品質狀況而計算出一相對應的設備參數，並將該設備參數輸出至該設備製程參數調變裝置，以進行自動回饋控制補償，該鍍膜品質參數值至少包含鍍膜層厚度、穿透率、反射率和折射率之光學性品質特性或表面阻抗之電氣性品質特性。 |
| Appears in Collections: | [Department of Electrical Engineering & Graduate Institute] Patents
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