Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/1578

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Title:	氧化鋅摻鐵之光學特性與元件製作
Authors:	蕭富元;黃士豪;陳坤震;李雨晟
Contributors:	修平技術學院電機工程系
Keywords:	氧化鋅;纖鋅礦;燒結溫度;光學特性
Date:	2008/12/16
Issue Date:	2009-03-18T12:08:40Z
Publisher:	修平技術學院
Abstract:	本文主要研究旋鍍在玻璃基板的摻鐵氧化鋅(Zn1-xFexO)薄膜，分別探討在不同燒結溫度及摻雜鐵比例對氧化鋅薄膜結構及光學特性的影響。藉由溶膠－凝膠法及快速熱處理技術，利用溶膠－凝膠法中的旋轉塗佈法，使溶液均勻分布在基板上，將ZFO薄膜以不同的快速熱處理退火溫度來改善光學特性。成長出來的薄膜經由X-ray繞射結果分析其晶粒大小及晶格結構，結果顯示結構為纖鋅礦結構。利用紫外光/可見光分光光譜儀(UV-VIS-NIR spectrometers)量測光穿透率，純氧化鋅奈米結晶薄膜在可見光波長範圍光穿透率可達到80%以上，再利用穿透率公式換算出能隙。根據研究結果顯示，隨著燒結溫度的增加可使得薄膜結構較為完整和結晶顆粒較大，同時可得到較佳的薄膜透光率及較大的薄膜能隙。再者，在相同的製程條件下，薄膜的結晶顆粒大小及能隙隨著摻雜鐵比例的增加而減小。這是因為隨著逐漸以離子半徑較大的鐵取代鋅時，摻雜濃度越高，纖鋅礦的結構扭曲愈加明顯，因此抑制了氧化鋅晶粒的成長，造成結晶顆粒越小、可見光穿透率越低及能隙愈小的結果。
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