Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/1980

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Title:	以溶膠-凝膠法製備釤、鉭摻雜鈦酸鉍鐵電薄膜之特性研究
Authors:	簡毓綺、朱元吉、張凱鈞、袁在葳
Contributors:	電子工程系
Keywords:	溶膠-凝膠法、鐵電薄膜
Date:	2009-12-30
Issue Date:	2011-01-25T08:42:58Z
Abstract:	本研究以溶膠-凝膠法及快速熱處理技術製備釤(Sm)、鉭(Ta)摻雜鈦酸鉍[Bi4-XSmXTi2.92Ta0.08O12鐵電薄膜、簡稱BSTTO]，以旋轉塗佈法將薄膜沉積於Pt/Ti/SiO2 /Si(100)基板上，改變釤(Sm)元素的摻雜濃度及熱處理溫度(700℃)，探討不同製程參數對BSTTO 鐵電薄膜之漏電流特性及鐵電特性之影響。實驗結果顯示，薄膜中釤(Sm)含量濃度會直接影響到BSTTO 薄膜的晶體結構及鐵電特性。在結晶特性方面，BSTTO 薄膜之(117)軸優選排向強度比例值α 在x＝0.02 時會有最大值為α＝0.89，同時在鐵電特性方面，在x＝0.02 時具有最佳之鐵電特性，這是因為BSTTO 薄膜中四價之Ti4+ 離子被四價之Sm4+ 離子所取代，使薄膜產生多餘電子補償氧空缺濃度，且(117)軸排向是最靠近極化軸之排向，故適合於非揮發性鐵電記憶體之應用。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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