Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/2693

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Title:	不同製程參數對鐵酸鉍薄膜之特性影響
Authors:	林加昇蘇政嘉陳威毅楊詠傑
Contributors:	電子工程系
Keywords:	鐵酸鉍溶膠-凝膠法
Date:	2011-12-28
Issue Date:	2012-07-10T02:14:10Z
Abstract:	本研究以溶膠-凝膠法(sol-gel)及快速熱處理製備鉍鐵氧BiFeO3鐵電薄膜，作為揮發性鐵電記憶體應用；以旋轉塗佈法將薄膜沉積於Pt/Ti/SiO2/Si(100)基板上。我們在實驗過程中，嘗試兩種溶液調配；第一種方式以硝酸性材料調製溶液，另一種則是以醋酸材料調製溶液，在做第一種方式硝酸溶液，在過程中嘗試不同的莫耳濃度比例去調配溶液，在使用X光繞射儀(XRD)確定是我們想要的BiFeO3晶相，但是以高倍顯微鏡去觀察到硝酸性材料調製的溶液不容易覆蓋於Pt/Ti/SiO2/Si(100)基板上，轉而以第二種方式醋酸材料調製溶液，以X光繞射儀(XRD)確定是我們想要的到的BiFeO3晶相，也確定完全附著於Pt/Ti/SiO2/Si(100)基板上。接著就以醋酸材料調製溶液來當實驗主題，在相同熱處理溫度450oC下，用XRD繞射儀、電子式掃描顯微鏡(SEM)及阻抗分析儀(HP4284)來探討鉍鐵氧BiFeO3對薄膜在大氣、氧氣環境中成長的影響，以及對晶體結構、晶粒大小、漏電流特性、介電性及鐵電性的影響。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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