Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/3306

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Title:	快速升溫效果對壓電陶瓷薄膜性質的影響
Authors:	劉明昌鍾元瑜
Contributors:	電機工程系
Keywords:	陶瓷薄膜ＰＺＴ鋯鈦酸鉛
Date:	2012-12-19
Issue Date:	2013-07-23T06:19:55Z
Abstract:	本次實驗主要對於高溫爐與高週波加熱設備兩種不同的加熱方式對鋯鈦酸鉛薄膜微結構與電性特性的影響進行探討。　　實驗過程中以溶膠-凝膠法製備鋯鈦酸鉛(PZT)溶膠凝膠，再以旋鍍法(spin coating) 將溶膠塗佈於鋁基材上，塗佈完成後的薄膜再分別以高溫爐與高週波加熱設備兩種不同加熱方式進行熱處理(加熱、退火與鍛煉)，熱處理後的薄膜接著進行電暈極化處理，鋯鈦酸鉛薄膜便製作完成。製成的陶瓷薄膜接著進行特性量測，首先利用X光繞射分析儀(XRD)進行晶相分析，以及利用電子顯微鏡(SEM)觀察其微結構，並藉由阻抗分析儀分析其電氣特性。　　實驗結果顯示使用這兩種加熱方式所製作的陶瓷薄膜，從X光繞射分析儀所觀察的鈣鈦酸礦結晶，發現兩者的結晶相類似，而結晶相強度在PZT(110)時，以高週波加熱設備製作的陶瓷薄膜的結晶相稍大於高溫爐所製作的陶瓷薄膜;而從電子顯微鏡所觀察到的陶瓷薄膜表面微結構部份，兩者所呈現出的結晶顆粒大小與密度呈現相似情況; 而從電器特性方面，兩者所呈現出的介電常數方面，高週波加熱設備製作出的陶瓷薄膜的介電係數，量測出來的介電係數比高溫爐所製出來的陶瓷薄膜的介電係數來的好;　綜合以上的分析，雖然以高週波加熱設備進行熱處理所得的陶瓷薄膜的特性與高溫爐所得的類似，但是以高週波加熱設備進行熱處理所需的加熱時間，卻是比高溫爐所需的減少了約97%，大大的提高了製作壓電陶瓷薄膜的效率。
Appears in Collections:	[Department of Electrical Engineering & Graduate Institute] Monograph

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