Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/3311

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Title:	銅鋁氧(Al2O3+Cu2O) P型靶材(塊材)製作
Authors:	陳煌龍;梁秦瑋
Contributors:	電子工程系
Keywords:	銅鋁氧靶材
Date:	2013-01-17
Issue Date:	2013-07-23T06:28:44Z
Abstract:	Al2O3、Cu2O具有許多優秀之特性，如良好的導電性、導熱性與抗電弧沖蝕等特性，故其應用的領域廣泛，一般的靶材基本上都是用熔煉的方式製作，不過這種製作方法容易發生缺陷，如成分比例出錯、結構不均勻和視孔寮的分佈不均勻。由於Al2O3、Cu2O P 型靶材其電阻率高於 N 型靶材 3 至 4 倍，使得無法製作良好的 PN 接面。所以我們採用另外的一種做法，就是粉末治金(Vecuum Sintering)。由這實驗研究哪種做法的成功良度較高。研究主要嘗試利用粉末冶金方法來製作Al2O3、Cu2O P型靶材，並探討熱均壓參數的改變對靶材之緻密度與微觀組織的影響，進而找到最適合之製程參數來製備高緻密度之Al2O3、Cu2O P型靶材。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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