Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/3573
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题名: 控制式的十八烷基三氯矽烷單層雙重表面改質以促成奈米晶種暨選擇性無電鍍銅金屬化
作者: 陳松德
陳錦山
贡献者: 修平科技大學電子工程系
关键词: 烷基自組裝單層
真空電漿
奈米晶種
十八烷基三氯矽烷
無電鍍銅金屬化
日期: 2012-09
上传时间: 2013-08-15T06:07:47Z
摘要: 本研究試圖在 SiO2介電層表面披覆烷基自組裝單層（Self-Assembled Monolayers; SAMs），並採用真空電漿對其進行表面改質及官能基圖案製作。其結果能夠促使採用一種新型的奈米晶種技術以製作微米/奈米級的無電鍍金屬化圖案。N2-H2電漿表面改質可使烷基自組裝單層［以十八烷基三氯矽烷（Octadecyltrichlorosilane；OTS）為試驗材料］之最頂端的脂肪烴鏈轉換成羧基（COOH）。此物種先前僅會發生在氧化性的電漿表面改質，而在 N2-H2電漿環境下卻依然形成乃源於電漿裂解、水誘發的化學氧化途徑。進一步利用SC-1 (Standard Clean 1, NH4OH/H2O2/H2O)溶液可促使電漿改質區域（即 COOH 終止之表面)產生能有效吸附奈米金屬晶種的表面官能基。此種“固定化”奈米晶種圖案製程既未使用昂貴的 PdCl2和複雜的添加物，亦無晶種團聚、稀疏與尺寸不均勻的缺點，且具充分密度以充當無電鍍沉積的模板以促成厚度小於10 nm的銅金屬化薄膜圖案之形成。
關聯: 修平學報 25, 91-102
显示于类别:[電子工程系] 期刊論文

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