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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/3992
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| 題名: | 晶種層表面處理對氧化鋅奈米柱微結構及光電特性的影響 |
| 作者: | 張永昌 |
| 貢獻者: | 電子工程系 |
| 關鍵詞: | 氧化鋅
溶膠凝膠法
磁控射頻濺鍍 |
| 日期: | 2013-12
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| 上傳時間: | 2014-07-15T03:14:52Z
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| 摘要: | 本論文研究各類不同製程方式，來探討有何方式的製作能得到最好的紫外光感測元件，結果共分為5個單元加以討論。其一是利用溶膠凝膠法在康寧基板上旋鍍10層氧化鋅薄膜，在做表面蝕刻處理，主要是探討薄膜做感光元件是否有效果，而蝕刻前後的薄膜在感光靈敏度上又有何差異。其二是利用溶膠凝膠法在重摻雜的n型矽基板上旋鍍2層晶種層，在做蝕刻10秒的處理，然後長奈米柱摻雜1%的銅於不同時間。其三是利用溶膠凝膠法在重摻雜的p型矽基板上旋鍍2層晶種層，在做蝕刻30秒的處理，然後長奈米柱摻雜1%的鋰於不同時間。其四是利用溶膠凝膠法在n型矽基板上旋鍍6層氧化鋅摻雜2%鎂的晶種層，然後長奈米柱摻雜1%的鋁於不同時間。其五是利用磁控射頻濺鍍（Rf sputter）在ITO基板上沉積不同厚度的氧化鋅（ZnO）薄膜做為晶種層，再成長奈米柱摻雜10%的鋰，主要是探討摻雜鋰之後是屬於何種半導體材料，和這樣的方式是紫外光感測元件效果的產生以及電性上的應用 |
| 顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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