Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/5659

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Title:	多鐵性薄膜摻雜元素於不銹鋼基板之特性研究
Authors:	林政傑陳子賢尤佑軒楊凱丞
Contributors:	電子工程系
Keywords:	溶膠凝膠法 FSS基板鉍鐵氧鐵電性介電性
Date:	2016-12-28
Issue Date:	2017-05-16T02:58:38Z
Abstract:	本研究以溶膠-凝膠法以及用RTA快速熱處理製備鉍鐵氧BiFeO3(BFO)多鐵電性薄膜，以旋轉塗佈法將薄膜沉積於不鏽鋼軟板基板上。本研究中實驗分為兩個部分探討，先是純向BFO薄膜經不同退火溫度做熱處理的特性比較；第二部分是參雜微量的鋅(Zn)，探討BiFe1-xZnxO3(BFZO)對薄膜在大氣環境中成長的影響，以及對漏電流特性、介電性及鐵電性的影響。得知純相(BFO)薄膜在退火溫度500oC時有最佳的晶相，並無二次成相的產生。在BiFe1-xZnxO3薄膜參雜不同量的Zn分別為x=0.02、x=0.04、x=0.06、x=0.08，最後經由實驗結果證實透過參雜Zn之結構的鐵電薄膜方式均能有效改善純相BFO薄膜的鐵電性、介電性及漏電流等問題。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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