Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/583

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Title:	自調式跨腔體傳輸機構設計 THE SELF-ADJUSTABLE AND CROSS-CHAMBER TRANSMISSION SYSTEM DESIGN
Authors:	許耿禎;余端仁;劉忠尚;李健銘;吳欣倫
Contributors:	修平技術學院
Date:	2005-10-01
Issue Date:	2008-11-06T08:22:58Z
Abstract:	一種新型的自調式跨腔體傳輸機構設計，係至少包括一可左右上下自我伸縮調整齒面相位之齒條機構裝置、一承載載具、一表面設有齒輪之傳動軸機構裝置、二真空腔體及一動力源裝置等元件所組成，首先將可左右上下自我伸縮調整齒面相位之齒條裝置組配於承載基材的承載載具底部上，當動力源藉由表面設有齒輪之傳動軸機構裝置來帶動承載載具前進或回送雙向傳輸時，利用齒條機構裝置本身內部具可左右上下自我伸縮元件的壓縮或伸長，能左右上下自行調整齒面相位，並與傳動軸上齒輪組之齒面相咬合，克服傳統習知連續式齒條裝置當承載載具在跨腔體轉換瞬間，經常與傳動軸上齒輪組齒面發生脫齒、卡齒或跳齒等傳動失效情況，亦同時可大幅減低先前習知利用摩擦傳動所造成真空腔體內部磨耗污染的問題，達到具有定位精準、傳動效率高、穩定性高、低污染源、真空腔體高潔淨度、可承載高負載、可來回往返雙向傳送、可降低上下抖動情況及可快速替換等傳動特性。
Appears in Collections:	[Department of Electrical Engineering & Graduate Institute] Patents

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