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題名: 多鐵性薄膜摻雜鋅元素於不鏽鋼基板之特性研究
作者: 廖浩雲
陳世偉
劉光庭
貢獻者: 電子工程系
關鍵詞: 溶膠-凝膠法
鉍鐵氧
鐵電性
日期: 2017-05-31
上傳時間: 2018-05-02T05:51:53Z
摘要: 本研究以溶膠-凝膠法以及用RTA快速熱處理製備鉍鐵氧BiFeO3(BFO)多鐵電性薄膜,以旋轉塗佈法將薄膜沉積於透明導電膜ITO上。本研究中實驗分為兩個部分探討,先是純向BFO薄膜經不同退火溫度做熱處理的特性比較;第二部分是參雜微量的鎳(Ni),探討BiFe1-xNixO3 (BFNO)對薄膜在大氣環境中成長的影響,以及對漏電流特性、介電性及鐵電性的影響。
得知純相(BFO)薄膜在退火溫度500oC時有最佳的晶相,並無二次成相的產生。在BiFe1-xNixO3薄膜參雜不同量的Ni分別為x=0.02、x=0.04、x=0.06、x=0.08,最後經由實驗結果證實透過參雜Ni之結構的鐵電薄膜方式均能有效改善純相BFO薄膜的鐵電性、介電性及漏電流等問題。
顯示於類別:[電子工程系] 學生專題

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