Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/6268

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Title:	利用低溫濺鍍法製作AZO透明導電膜及其特性與均勻性探討
Authors:	曾裕翔高源志黃韋恆黃順意
Contributors:	電子工程系
Keywords:	AZO 透明導電薄膜電性光學性濺鍍系統
Date:	2017-05-31
Issue Date:	2018-06-06T06:47:06Z
Abstract:	本專題研究擬在室溫環境下，利用射頻濺鍍系統將 AZO(Al：ZnO) 濺鍍於康寧 1737 玻璃基板上，透過改變擺放位置，固定 Ar 及 H2 氣體量、靶材中鋁的含量(2%)、濺鍍時間及真空度。經由 X-Ray 觀察薄膜的微結構、霍爾量測儀測量電性、Alpha-step 測量其沉積厚度、 UV-VIS-NIR 光譜儀量測光的穿透率。由於固定式射頻濺鍍系統，再濺鍍過程並未像現在薄膜製程採移動式濺鍍，所以鍍膜會呈現不均勻的現象，透過多次實驗及量測採樣，得出該射頻濺鍍系統於A區部分濺渡時，會有最良好的電性及光學性。但由於成品的電性及光學性都不及現代ITO薄膜，未來可以在AZO薄膜上度上銅或銀的薄膜，可以應用在近代的OLED及藍光LED上。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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