Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/6601

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Title:	BiFeO3多鐵薄膜成長在FTO基板上不同溫度變化
Authors:	詹翔荏陳佑誠林衛群鄭雨恩
Contributors:	電子工程系
Keywords:	溶膠凝膠薄膜多鐵電鐵電磁性介電性漏電流
Date:	2018-06-06
Issue Date:	2018-09-28T02:47:25Z
Abstract:	本研究以溶膠凝膠法製備BiFeO3多鐵性薄膜，透過旋轉塗佈法將薄膜沉積在FTO基板上，並利用快速熱退火(Rapid Thermal Annealing，RTA)在大氣氛圍下作熱處理。本實驗為純相BFO薄膜沉積在FTO基板上，經不同退火溫度熱處理後的特性比較，探討BiFeO3(BFO)的特性。本薄膜經不同退火溫度分別為 400℃ 、450℃ 、500℃ 、550℃ 。由實驗結果得知純相BFO薄膜分別沉積在FTO基板上，退火溫度為450 oC時有最佳的晶相，無二次相的產生，並且有最佳的鐵電性。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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