Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/6606

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Title:	化學水浴之沉積時間對氧化鋅奈米柱的光學與微結構影響
Authors:	林佑諭蔡安庭林耘黃顗鳴張銘祐
Contributors:	電子工程系
Keywords:	氧化鋅奈米柱電子顯微鏡 X光繞射螢光激發光譜儀
Date:	2018-06-19
Issue Date:	2018-09-28T03:08:17Z
Abstract:	氧化鋅為目前很有潛力的光電半導體材料之一，材料擁有非常多優點，具有易蝕刻、無毒性、價廉等優點，在熱穩定性上及化學穩定性上也有相當不錯的表現。由於目前的ZnO多屬於n-type的半導體氧化物，如果能成功研發p-type的ZnO與n-type的ZnO搭配，將可開發出ZnO的全新光電半導體應用領域。首先利用旋轉塗佈法在p-type矽晶圓上沉積氧化鋅（ZnO）薄膜做為晶種層，之後使用低溫水熱法製備氧化鋅奈米柱，固定溫度90°C改變其成長時間，分別為30、60、90分鐘，最後測量其表面微結構、光學特性。藉由掃描式電子顯微鏡（SEM）和X光繞射（X-Ray）觀察晶體結構及分析表面型態，來討論氧化鋅奈米柱對於不同成長時間下的影響，並探討其材料特性。在光學性質方面，藉由螢光激發光譜儀(Photoluminescehce Excitation)觀察奈米柱品質，將量測所得的結果加以分析討論。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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