Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/4005
English  |  正體中文  |  简体中文  |  全文笔数/总笔数 : 4343/7642
造访人次 : 3979441      在线人数 : 957
RC Version 3.2 © Powered By DSPACE, MIT. Enhanced by NTU Library IR team.
搜寻范围 进阶搜寻

jsp.display-item.identifier=請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/4005

题名: 微型光譜儀應用在真空電漿之檢測研究
作者: 林柏凱 施建廷 鄭湘棋 陳世錡
贡献者: 電子工程系
关键词: PID控制器
DAQ擷取卡
Visual Basic
日期: 2012-12
上传时间: 2014-07-15T05:49:42Z
摘要: 以真空環境之狀態下檢測電漿在此環境下的狀態以及變化，經由電腦軟體AvaSoft輸入實驗數值給電腦，再透過光譜分析儀的檢測分析，傳送至擷取卡讀取光譜分析儀分析資料傳送自電腦處理訊息，由軟體得知光譜分析的訊號和強度，再由VB.NET自行撰寫之程式作監控與顯示，控制電漿環境變化，依不同所需得到正確電漿環境。
以本研究所發展之微型光譜監控電漿技術，氬氣製程電漿可在我們設定的MIN值到MAX值之間穩定震盪，當電漿過強超出我們設定的MAX值，透過PID控制器的調整會傳送一個指令將製程氣體閥門關閉，如低於MIN值則會把氣閥打開，使我們能達到穩定監控電漿的動作
显示于类别:[電子工程系] 學生專題

文件中的档案:

档案 大小格式浏览次数
15微型光譜儀應用.pdf1395KbAdobe PDF4081检视/开启

在HUSTIR中所有的数据项都受到原著作权保护.

 

DSpace Software Copyright © 2002-2004  MIT &  Hewlett-Packard  /   Enhanced by   NTU Library IR team Copyright ©   - 回馈