資料載入中.....
|
請使用永久網址來引用或連結此文件:
http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/1980
|
| 題名: | 以溶膠-凝膠法製備釤、鉭摻雜鈦酸鉍鐵電薄膜之特性研究 |
| 作者: | 簡毓綺、朱元吉、張凱鈞、袁在葳 |
| 貢獻者: | 電子工程系 |
| 關鍵詞: | 溶膠-凝膠法、鐵電薄膜 |
| 日期: | 2009-12-30
|
| 上傳時間: | 2011-01-25T08:42:58Z
|
| 摘要: | 本研究以溶膠-凝膠法及快速熱處理技術製備釤(Sm)、鉭(Ta)摻雜鈦酸鉍[Bi4-XSmXTi2.92Ta0.08O12鐵電薄膜、簡稱BSTTO]，以旋轉塗佈法將薄膜沉積於Pt/Ti/SiO2 /Si(100)基板上，改變釤(Sm)元素的摻雜濃度及熱處理溫度(700℃)，探討不同製程參數對BSTTO 鐵電薄膜之漏電流特性及鐵電特性之影響。實驗結果顯示，薄膜中釤(Sm)含量濃度會直接影響到BSTTO 薄膜的晶體結構及鐵電特性。在結晶特性方面，BSTTO 薄膜之(117)軸優選排向強度比例值α 在x＝0.02 時會有最大值為α＝0.89， 同時在鐵電特性方面，在x＝0.02 時具有最佳之鐵電特性，這是因為BSTTO 薄膜中四價之Ti4+ 離子被四價之Sm4+ 離子所取代，使薄膜產生多餘電子補償氧空缺濃度，且(117)軸排向是最靠近極化軸之排向， 故適合於非揮發性鐵電記憶體之應用。 |
| 顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
|
文件中的檔案:
| 檔案 |
大小 | 格式 | 瀏覽次數 |
|---|
| BQ9507封面以溶膠-凝膠.pdf | 1717Kb | Adobe PDF | 2775 | 檢視/開啟 |
|
在HUSTIR中所有的資料項目都受到原著作權保護.
|
