Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/519

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Title:	鐵鉑薄膜上銅覆蓋層擴散對磁特性影響之研究
Authors:	申繼陽袁輔德
Keywords:	覆層擴散交互作用鐵鉑鐵-鉑-銅析出
Date:	2008-09
Issue Date:	2008-10-29T10:29:58Z
Abstract:	銅頂層被濺鍍在完全序化的鐵鉑薄膜上，接著被施以一個熱處理，其目的在於促進膜層間的擴散，溫度範圍從攝氏300到800度之間。對鐵鉑/銅雙層膜在退火溫度小於600度的試片中，X光結晶分析的結果顯示了銅與鐵鉑序化相的兩相共存結構。磁性的量測指出在低溫400度被熱處理的雙層試片，出現了最大的矯頑磁力值約14 kOe. 600到800度的熱處理會導致矯頑磁力明顯的減損，並伴隨飽合磁化量的增加。高溫的熱處理造成銅原子藉由擴散進入鐵鉑的晶格中，產生了軟磁性的鐵-鉑-銅三元固溶的合金相。在最佳化的試片（500度熱處理），δM值可被降至鐵鉑二元單層合金薄膜的3.7%，此一結果可被充分解釋為：銅的介面擴散造成鐵鉑序化相的晶界改質效應。
Relation:	修平學報 17, 1-8
Appears in Collections:	[Department of Electrical Engineering & Graduate Institute] Journal

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