Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/519
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题名: 鐵鉑薄膜上銅覆蓋層擴散對磁特性影響之研究
作者: 申繼陽
袁輔德
关键词: 覆層擴散
交互作用
鐵鉑
鐵-鉑-銅
析出
日期: 2008-09
上传时间: 2008-10-29T10:29:58Z
摘要: 銅頂層被濺鍍在完全序化的鐵鉑薄膜上，接著被施以一個熱處理，其目的在於促進膜層間的擴散，溫度範圍從攝氏300到800度之間。對鐵鉑/銅雙層膜在退火溫度小於600度的試片中，X光結晶分析的結果顯示了銅與鐵鉑序化相的兩相共存結構。磁性的量測指出在低溫400度被熱處理的雙層試片，出現了最大的矯頑磁力值約14 kOe. 600到800度的熱處理會導致矯頑磁力明顯的減損，並伴隨飽合磁化量的增加。高溫的熱處理造成銅原子藉由擴散進入鐵鉑的晶格中，產生了軟磁性的鐵-鉑-銅三元固溶的合金相。在最佳化的試片（500度熱處理），δM值可被降至鐵鉑二元單層合金薄膜的3.7%，此一結果可被充分解釋為：銅的介面擴散造成鐵鉑序化相的晶界改質效應。
關聯: 修平學報 17, 1-8
显示于类别:[電機工程系(含碩士班)] 期刊論文

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