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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/6601
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題名: | BiFeO3多鐵薄膜成長在FTO基板上不同溫度變化 |
作者: | 詹翔荏 陳佑誠 林衛群 鄭雨恩 |
貢獻者: | 電子工程系 |
關鍵詞: | 溶膠凝膠 薄膜 多鐵電 鐵電 磁性 介電性 漏電流 |
日期: | 2018-06-06
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上傳時間: | 2018-09-28T02:47:25Z
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摘要: | 本研究以溶膠凝膠法製備BiFeO3多鐵性薄膜,透過旋轉塗佈法將薄膜沉積在FTO基板上,並利用快速熱退火(Rapid Thermal Annealing,RTA)在大氣氛圍下作熱處理。本實驗為純相BFO薄膜沉積在FTO基板上,經不同退火溫度熱處理後的特性比較,探討BiFeO3(BFO)的特性。
本薄膜經不同退火溫度分別為 400℃ 、450℃ 、500℃ 、550℃ 。由實驗結果得知純相BFO薄膜分別沉積在FTO基板上,退火溫度為450 oC時有最佳的晶相,無二次相的產生,並且有最佳的鐵電性。 |
顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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