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題名: 多鐵性BiFeO3薄膜摻雜Er成FTO玻璃基板特性分析
作者: 李柏諺
賴布岱
林建華
馬志潔
貢獻者: 電子工程系
關鍵詞: 溶膠凝膠法
薄膜
多鐵性
鐵電
介電
漏電流
日期: 2020-06
上傳時間: 2020-12-15T08:00:20Z
摘要: 本研究以溶膠凝膠法製備BiErFeO3(BEFO) 之多鐵性薄膜，透過旋轉塗佈法將薄膜沉積在FTO玻璃基板上，並且利用RTA快速升溫爐在大氣氛圍下做退火處理。完成不同溫度退火BEFO薄膜製作，利用X光繞射儀(XRD)、阻抗分析儀(HP4284)、 KEITHLEY 2400，探討對晶體結構、漏電流特性、介電性及鐵電性之影響。
顯示於類別:[電子工程系] 學生專題

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