Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/7977

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Title:	研製新穎氧化鋅奈米薄膜及奈米柱陣列光感測器
Authors:	陳懿翔廖建芃
Contributors:	電子工程系
Keywords:	氧化鋅、、、、奈米薄膜晶粒穿透率光感測器
Date:	2022-06
Issue Date:	2022-12-05T02:20:24Z
Abstract:	本專題利用溶膠-凝膠法在矽基板上製備氧化鋅掺雜鎂的透明半導體薄膜。研究分析探討不同的摻雜比例對氧化鋅薄膜結構、光學及光電特性的影響。氧化鋅摻鎂薄膜，藉由X光繞射分析晶體結構，在氧化鋅結構中摻雜鎂的主要目的是以價數相同，體積較小的鎂取代鋅，使晶格強度減弱，有c軸優先取向的特性。由掃描式電子顯微鏡分析，摻雜鎂氧化鋅薄膜隨著摻雜比例的提高晶粒逐漸減小。在光學性質方面，利用紫外光-可見光-近紅外光光譜儀量測薄膜的穿透率，製備的樣品在可見光範圍有80%以上的高穿透率。對n型矽基板上生長掺雜鎂之氧化鋅薄膜量測光電流及暗電流，並計算出光/暗電流變化百分比，其顯示在偏壓電壓為5 V時摻雜鎂之氧化鋅薄膜電流變化百分比最大為34%，以薄膜的電流變化百分比比較，實驗中製作奈米薄膜具有紫外光感測器應用潛力。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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